山東東儀光電儀器有限公司
? ? ? 長期以來,我國高端質(zhì)譜儀核心部件——二次電子倍增器一直依賴進(jìn)口,面臨供應(yīng)受限、成本高昂的“卡脖子”困境。如今,這一局面已被打破。
? ? ? 山東東儀光電儀器有限公司經(jīng)過持續(xù)攻關(guān),成功自主研發(fā)高性能二次電子倍增器,并已完成小批量試制與性能驗(yàn)證。該產(chǎn)品涵蓋單模式與雙模式兩種類型,可廣泛應(yīng)用于磁質(zhì)譜、四極桿質(zhì)譜、飛行時(shí)間質(zhì)譜等多種質(zhì)譜儀中,實(shí)現(xiàn)離子信號(hào)的高靈敏度、低噪聲探測。
? ? ? 項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)通過結(jié)構(gòu)仿真優(yōu)化、高精度打拿極成型、薄膜發(fā)射層制備等關(guān)鍵技術(shù)突破,使產(chǎn)品在關(guān)鍵指標(biāo)上達(dá)到甚至超越國際同類水平。其中,計(jì)數(shù)增益達(dá)1.2×109,響應(yīng)時(shí)間進(jìn)入納秒級(jí),暗電流低于1pA,性能穩(wěn)定可靠。
? ? ? 目前,該二次電子倍增器已在企業(yè)自研ICP-MS質(zhì)譜儀中完成裝機(jī)驗(yàn)證,表現(xiàn)出優(yōu)異的靈敏度、穩(wěn)定性和坪區(qū)特性,標(biāo)志著我國在質(zhì)譜檢測器領(lǐng)域邁出自主化、產(chǎn)業(yè)化關(guān)鍵一步。
? ? ? 東儀光電將持續(xù)推進(jìn)該產(chǎn)品的量產(chǎn)工藝優(yōu)化與產(chǎn)能提升,致力于為國內(nèi)科研、工業(yè)檢測等領(lǐng)域提供高性能、高可靠性的國產(chǎn)化檢測器解決方案,助力中國精密儀器自主發(fā)展。